中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心成立于2009年 4月，是中國科學院微電子研究所與嘉興市人民政府共同組建的技術轉移轉化、研發、中試和高新技術產業孵化的創新平臺機構。中心位于浙江中科院應用技術研究院園區9號樓南區，現有場地面積3000余平方米，其中專業實驗研發基地面積1280平方米?，F有研發團隊26人，其中正高級職稱3人，副高級職稱1人，博士4人。工程中心依托中科院雄厚的研發力量、人才優勢和綜合技術實力,立足嘉興，輻射長三角，以應用科學研究為基礎，以技術研究、技術推廣、項目合作、人才培養為合作領域，開展微電子成套設備技術研發與應用，設立重點實驗室、工程中心和孵化基地，大力推動微電子成套設備技術在地方經濟發展中的作用。已成功開展包含原子層沉積在內的高端半導體裝備項目研發。近年來，工程中心陸續承的擔國家科技重大專項子項目《45nm以下顆粒檢測與化學沾污檢測集成系統的研發》、浙江省科技項目《用于光刻膠抗刻蝕能力強化的連續滲入合成（SIS）設備及技術開發》等科研、產業化項目，取得了豐碩的成果。研發的ALD設備成功通過大型微電子、MEMS制造企業產線驗證，成為國內首個進入大批量制造產業化市場的原子層沉積機型，打破了國外設備的壟斷。除了自身科研外，中心依托中心強大的人才隊伍和儀器設備研發能力，為浙江地區高校乃至外省高校提供的實習基地和人才培訓服務，滿足了高等學校普遍存在的缺乏將理論與實踐相結合的條件，并獲得了學校的認可和廣泛好評，最大程度的發揮本工程中心的優勢為社會培養更多具有工匠精神的人才。