1、主導半導體設備整機/關鍵復雜部件的真空系統設計，指標定義與分解，以及制定軟硬件的控制方案； 2、根據分解的指標，主導與真空系統相關的泵規閥等關鍵部件的選型； 3、主導真空系統集成方案的落地，以及真空指標測試用例的制定和評審； 4、制定真空設計規范和標準。